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九州体育:九州体育 ,氮化硅基板的可靠性该如何检测?

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2019/11/13     浏览次数:    
  在对不同的合成材料进行加工之前,一般要对其进行可靠性检测。九州体育。现在的氮化硅基板做可靠性检测时多选用被迫热循环方法,即选用双腔检测系统,在205K的导热系数下以十秒之内的升温速度暴露10-15分钟。另外还需要以超声显微镜来对其分层和贝壳状破裂进行检测。

  经过不同材料的对比,发现氧化铝和氧化锆在超声检测下呈现贝壳状破裂的几率较高,原因在于铜和陶瓷在温度改动的情况下热膨胀系数差距很大。而氮化硅基板的硅元素在热循环作用下发生的膨胀相对较。闯氏只钚允У那榭。

  九州体育。经过对热性能和强度的检测发现,高强度的氮化硅基板材料愈加适用于现阶段较高的热力性能需求,且其耐性和机械性能在可靠性上还算是较为可观的,相比于同等级的氮化铝而言较为出色。



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